广皓天高温烤箱签约上海华力电路铜退火炉氢氮混合气氛验收电阻率均匀性达标

点击次数：11 更新时间：2026-07-10

广东皓天检测仪器有限公司（广皓天）自研定制气氛型高温烤箱完成交付上海华力电路项目，针对半导体铜薄膜互联退火工艺搭建专属氢氮混合气氛热处理产线，全套广皓天高温烤箱顺利通过全项严苛验收，铜材退火后电阻率均匀性指标稳定达标，为集成电路精密制程提供稳定热处理硬件支撑。

半导体电路铜布线退火对设备温场、气氛密封性、气氛配比控制有着严苛标准，传统烘烤设备存在温场偏差大、气氛置换不均、微量氧渗入氧化铜膜等痛点，极易造成同批次铜薄膜电阻率离散度超标，直接降低芯片导通性能与良率。上海华力电路本次项目核心诉求为配套晶圆铜互连退火工序，需要专用气氛型高温烤箱实现稳定氢氮混合保护环境，保障退火后铜晶粒均匀细化，严控电阻率波动范围。经过多轮厂商方案对比、小批量工艺试产验证，广皓天气氛型高温烤箱凭借成熟温控与密闭气氛系统脱颖而出，正式达成签约合作。

本次交付的广皓天高温烤箱为半导体定制气氛款，核心优势聚焦温场均匀性与气氛精密调控两大核心板块。设备内胆采用 316L 镜面不锈钢无缝氩焊成型，搭配多层加厚耐高温陶瓷纤维隔热层，内置垂直循环风道与耐高温金属离心风机，配合多段独立 PID 智能控温模块，全程工作区间温度波动度控制在 ±0.5℃，整体温度均匀性偏差小于 ±1℃，解决局部高温导致铜晶粒异常长大问题化工仪器网。广皓天高温烤箱搭载独立氢氮动态配比供气系统，配备高精度质量流量计，可自由调节氢气、氮气混合比例，腔体采用多重硅橡胶密封结构，搭配真空预置换工序，炉内氧含量稳定控制在 5ppm 以内，杜绝铜膜高温氧化，还原气氛充分消除铜材加工内应力，优化导电性能。

验收阶段，上海华力电路技术团队对广皓天高温烤箱开展连续 72 小时不间断量产模拟测试，分多批次置入铜布线晶圆执行标准退火工艺，全程记录炉内各点位温度、气氛浓度数据，成品多点电阻率抽样检测结果显示，同批次铜薄膜电阻率均匀性偏差控制在行业区间，满足集成电路量产标准，各项设备性能、安全防护、连续运行稳定性全部通过验收。广皓天高温烤箱配套多重安全联锁机制，超温自动断电、氢气泄漏报警、气氛压力过载保护功能齐全，适配半导体车间无人值守长时间生产，兼顾工艺精度与产线安全。

作为深耕环境试验与工业热处理设备的专业厂商，广皓天高温烤箱系列覆盖常规干燥、无尘洁净、惰性 / 还原性气氛、真空高温多品类机型，广泛服务半导体、封装、新能源电子、新材料热处理领域。本次与上海华力电路合作落地，再次印证广皓天高温烤箱在半导体精密退火场景的技术实力，标志品牌气氛型高温烤箱解决方案成功落地国内头部集成电路制造企业。

未来，广皓天将持续迭代高温烤箱核心温控、气氛控制技术，针对第三代半导体、封装、大尺寸晶圆退火等前沿制程优化设备方案，以高精度、高稳定性的广皓天高温烤箱，助力国内半导体制造产业链实现热处理设备国产化升级，持续为芯片企业提供一站式精密烘烤热处理解决方案。

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