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广皓天高温烤箱签约京东方柔性屏PI基板固化产线验收颗粒物检测通过

点击次数:12 更新时间:2026-07-10
广东皓天检测仪器有限公司(广皓天)定制洁净型高温烤箱正式完成签约交付,全面入驻京东方柔性屏 PI 基板自动化固化产线。整套高温烤箱历经多轮严苛产线联调与第三方洁净度校验,颗粒物检测实现达标,凭借高精度温场、百级无尘腔体、无氧固化集成方案,解决柔性 PI 基板高温成膜颗粒污染、膜层不均、基板翘曲等行业痛点,广皓天高温烤箱成为京东方柔性 OLED 量产线核心热处理装备,标志国产洁净高温烤箱突破显示行业进口设备垄断。
聚酰亚胺 PI 是柔性折叠屏核心基板材料,涂布后需在 300℃以上高温完成亚胺化固化,腔内微量粉尘、脱落碎屑都会造成 TFT 线路断路、像素黑点,直接拉低面板良率。传统高温烤箱风道死角多、保温层易掉屑、过滤系统耐高温性能不足,长时间量产会持续产生颗粒物;同时温场失衡、氧气超标易引发 PI 膜黄变、基板形变。京东方本次产线招标对高温烤箱提出双重硬性指标:固化全程百级洁净、颗粒物检出量为 0,温场均匀度≤±0.4℃,腔体氧含量稳定控制 20ppm 以内,多家设备厂商因洁净控制不达标淘汰,广皓天洁净高温烤箱方案一次性通过工艺模拟验证,顺利达成签约合作。
本次交付的核心设备为广皓天定制量产级洁净高温烤箱,专为卷对卷 PI 基板连续固化打造,温控区间覆盖室温至 420℃,匹配 PI 分阶段升温固化工艺。高温烤箱搭载多层级耐高温 HEPA 高效过滤系统,热风循环风道采用全圆弧设计,内壁镜面抛光 316L 不锈钢杜绝碎屑脱落;保温层选用低释气陶瓷纤维,无粉尘析出,整机内部实现 ISO5 级百级洁净环境,从源头阻断颗粒物产生。高温烤箱内置多段独立 PID 控温模块,立体分层送风结构消除腔体温差,线性升降温程序精准控制热应力,避免超薄 PI 基板高温翘曲变形。
为适配柔性屏量产标准,广皓天高温烤箱集成氮气密闭置换系统,持续隔绝氧气防止 PI 氧化黄变,配套全自动基板传送、废气回收、静电消除一体化模块。设备验收阶段,京东方联合第三方检测机构对高温烤箱开展连续 72 小时满载量产测试,全程在线颗粒物计数监测,0.3μm、0.5μm 粒径颗粒检出数值始终归零,温场均匀性、氧含量、升温稳定性全部优于招标标准,颗粒物检测顺利通过整机验收。
项目落地期间,广皓天技术团队驻厂完成高温烤箱整机安装、洁净腔体吹扫、固化工艺曲线调试、产线联动对接全流程服务,同步为产线操作人员开展高温烤箱洁净维护、滤网更换、颗粒异常排查专项培训,配套全年驻场维保服务体系。京东方产线负责人表示,广皓天高温烤箱洁净控制与温控精度匹配柔性 PI 基板量产需求,零颗粒污染大幅降低面板报废率,有效提升折叠屏量产良率与生产效率。
深耕洁净高温烤箱研发制造多年,广皓天持续攻坚显示行业无尘热处理技术,多款定制高温烤箱批量供货头部面板企业。此次与京东方柔性屏产线签约交付、验收落地,充分印证广皓天高温烤箱在显示制造领域的技术实力。未来企业将持续迭代高温烤箱洁净过滤、低释气腔体、精准热场控制技术,推出适配 Mini LED、柔性传感、光学膜材的专用高温烤箱,助力国内新型显示产业链自主化升级。