广皓天电磁振动实验台实现微振幅控制突破，助力芯片级元器件可靠性验证

近日，广东皓天检测仪器有限公司自主研发的电磁振动实验台实现微振幅控制技术重大突破，其纳米级位移控制精度，为芯片级元器件可靠性验证提供关键测试支撑，破解了微电子领域精密振动测试难题。

此次突破使广皓天电磁振动实验台的振幅控制精度跃升至新高度。该设备采用稀土永磁体构建均匀气隙磁场，搭配精度达 0.1nm 的激光干涉位移传感器，实时捕捉台面振动轨迹。通过 FPGA 芯片驱动功率放大器进行微秒级电流修正，形成 “感知 - 计算 - 执行" 闭环系统，将正弦波失真度控制在 0.5% 以下，2000Hz 高频振动时加速度波动稳定在 ±1% 内，远超传统设备性能。

行业应用已初见成效。该电磁振动实验台已投入广皓天与哈工大共建的联合实验室，助力航天器热防护材料、动力电池电极材料等领域的动态性能研究。目前，多家半导体企业采用该设备开展芯片可靠性测试，使虚焊、微裂纹等潜在缺陷检出率提升 40% 以上。