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近日,国内某头部半导体企业与广东皓天检测仪器有限公司达成战略合作,正式引入广皓天研发的高精度高频电磁振动台,用于半导体核心设备的可靠性测试环节。此次合作不仅该企业在振动测试领域的设备空白,更标志着国产高频电磁振动台在半导体核心测试场景的应用实现重大突破,为我国半导体产业链自主可控再添关键装备支撑。

在半导体产业中,光刻机、刻蚀机等核心设备的精密部件对振动极为敏感,哪怕微米级的振动偏差,都可能导致芯片制造良率大幅下降。此前,该头部半导体企业长期依赖进口振动测试设备,但进口设备存在适配性不足、维护成本高、响应周期长等问题,难以满足企业对核心设备高频振动测试的精细化需求。经过多轮技术验证与对比测试,广皓天高频电磁振动台凭借精度与稳定性,最终成为其合作。

此次引入的高精度高频电磁振动台,是广皓天针对半导体行业需求定制的升级款产品,具备三大核心优势:其一,频率响应范围拓展至 0.1Hz-8000Hz,在 3000Hz-6000Hz 高频区间,正弦波失真度控制在 0.15% 以内,远超行业平均水平,可精准模拟半导体设备运行时的高频振动工况;其二,采用自研的 “纳米级位移传感系统",振动位移控制精度达 ±0.0005mm,能实时捕捉核心部件的微小振动变化,为设备性能优化提供精准数据支撑;其三,搭载 “多参数协同控制平台",可同步整合振动、温度、湿度等测试条件,复现半导体洁净车间的复杂环境,实现一站式综合测试,测试效率较传统设备提升 60%。
