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大型高低温试验设备 半导体专用精度达标
简要描述:

生产线快速质检: 满足生产节拍要求,用于产品出厂前的快速高低温筛选。大型高低温试验设备 半导体专用精度达标

型号:THC-1500PF

浏览量:292

更新时间:2025-10-13

价格:39000

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大型高低温试验设备 半导体专用精度达标
品牌广皓天产地国产
降温时间20℃→-20℃ ≤30Min℃/min升温时间20°C→150°C约30Min℃/min
是否防爆常规型温度波动度0.5℃
温度范围常规型,-70°C~150°C℃温度均匀度2.0℃
温度偏差温度士1.0℃℃;湿度士2.5%RH℃制冷方式压缩机制冷
外壳材料防锈处理冷轧钢板烤漆或SUS304不锈钢绝缘材料硬质聚氨酯泡沫塑料(箱体用,带阻燃剂)玻璃棉(箱门用)
制冷方式进口压缩机+结片式全铜蒸发器+风冷式冷凝器

生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术,一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商,皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。

大型高低温试验设备 半导体专用精度达标

一、工作原理

设备基于强制对流热平衡原理工作。循环风机驱动高度洁净的空气在密闭工作室中流动,空气流经精密控制的加热器或蒸发器进行热交换。针对半导体测试,系统通过超高精度传感器和自适应PID算法,对热交换过程进行毫秒级调节,确保在设定的温度点上达成并维持极其稳定的动态热平衡,从而为晶圆、芯片等产品提供近乎零扰动的测试环境。

大型高低温试验设备 半导体专用精度达标


大型高低温试验设备 半导体专用精度达标

二、产品特点

  1. 精度与均匀性: 采用多点多级传感器布局与高响应控制逻辑,确保整个工作空间内温场高度均匀稳定,满足芯片测试的苛刻要求。

  2. 超低挥发物设计: 内腔、风道及所有与气流接触的部件均采用不锈钢并经过特殊钝化处理,确保在高温下无挥发物析出,防止对半导体产品造成污染。

  3. 静电防护(ESD)与洁净度控制: 设备内表面接地设计有效防止静电积聚。标配的高效空气过滤器(可选配HEPA),能有效控制内部颗粒物,满足半导体制造的洁净需求。

  4. 快速温度变化能力: 优化的风道与大功率制冷/加热系统,可实现快速的升降温,有效提升芯片筛选与测试效率。

三、主要用途

本设备专为半导体制造与测试的多个关键环节设计:

  • 晶圆级测试(Wafer Level Testing): 在探针台上对整片晶圆进行高低温电气性能测试。

  • 芯片封装测试(Package Testing): 对已封装的芯片进行温度循环、老化测试及可靠性验证。

  • 失效分析(Failure Analysis): 通过温度应力激发并定位芯片的潜在缺陷。

  • 产品与材料验证: 对半导体材料、基板、键合线等在温度下的性能与可靠性进行评估。



四、技术参数

项目半导体专用参数标准
温度范围-70℃ ~ +200℃(高温需求覆盖芯片结温)
温度波动度≤ ±0.1℃ (关键精度指标)
温度均匀度≤ ±0.5℃ (@-40℃~+125℃)
升温速率线性3℃/min ~ 10℃/min可编程(可选更快)
内箱材质镜面级SUS304不锈钢,Ra ≤ 0.4μm

五、制冷系统

  • 复叠式高效制冷: 采用环保制冷剂的复叠式制冷系统,确保在宽温域内,尤其是低温段,具备强劲且稳定的制冷能力。

  • 热量管理技术: 配备“热储能"技术(可选),在快速降温过程中吸收多余热量,减少对压缩机的冲击,并在高温段释放热量以提升升温效率,实现快速温变的同时保护核心部件。

  • 节能运行模式: 智能的冷量调节系统,可根据实际热负载精确输出制冷量,保证性能的同时实现高效节能。




六、设备亮点

  1. 数据可靠: 精度与稳定性确保了每一颗芯片的测试数据准确、可重复、可追溯,为质量判定提供依据。

  2. 专为半导体优化: 从材料洁净度、静电防护到温场均匀性,每一处设计都精准应对半导体行业的特殊挑战。

  3. 投资回报: 通过提升测试效率、良品率筛选准确度和设备运行时间,为客户创造价值。

  4. 智能化管理: 具备完整的远程监控、数据导出及用户权限管理功能,轻松对接半导体工厂的自动化产线与MES系统。

七、售后与服务

我们为半导体客户提供超越标准的专属服务保障:

  • 售前工艺对接: 工程师与客户深度对接测试工艺,确保设备规格匹配需求。

  • 专属服务工程师: 配备熟悉半导体行业的专属服务工程师,提供更专业的支持。

  • 定期精度校准服务: 提供定期的上门精度校准与验证服务,并出具可溯源的校准报告,确保设备持续满足认证要求。

  • 关键备件储备: 为半导体客户建立关键备件库,确保在紧急情况下能快速响应,限度减少停机损失。



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