主动安全保障：机械式压力释放装置，响应迅速，不依赖电力，安全可靠。

结构坚固耐用：为承受压力波动而强化的箱体，寿命更长。高温烤箱，无尘化设计防止污染敏感材料

生产厂家广东皓天检测仪器有限公司拥有专业的生产研发技术，一站式周到服务。作为一家专注于试验设备产品的大型仪器制造商，皓天设备致力于为消费者提供技术、品质的优秀产品。

高温烤箱，无尘化设计防止污染敏感材料

一、 核心用途
本产品专为处理对微粒污染极度敏感的物料而设计，主要应用于：

• 半导体与微电子：硅片、晶圆、光掩膜版、封装材料的烘烤与去应力。

• 光电与显示行业：光学镜片、LCD基板、镀膜材料的固化与热处理。

• 材料研发：纳米材料、高纯金属、特种陶瓷的烧结与热处理。

• 生物医药与医疗：植入体、精密医疗部件的干燥与消毒前处理。

• 航空航天：精密传感器、陀螺仪等部件的无污染烘干。

高温烤箱，无尘化设计防止污染敏感材料

二、 关键技术参数

• 温度范围：RT+10℃ ~ 250℃（常用范围，高温下维持洁净度挑战更大）。

• 洁净等级：工作腔内空气洁净度通常可达 ISO Class 5（100级）或更高（关键性能指标）。

• 温度均匀度：≤±2℃。

• 内胆材质：镜面级（Ra≤0.4μm）或电解抛光不锈钢，确保表面光滑均匀不脱落微粒。

• 过滤系统：标配高效空气过滤器（HEPA，对0.3μm颗粒过滤效率≥99.97%），可选配超高效过滤器（ULPA）。

• 压差控制：可维持腔内微正压，防止外部不洁空气渗入。

三、 重要性

1. 保障产品良率：对于半导体、光学元件等行业，微小颗粒即可导致电路短路、光学缺陷或信号干扰，造成产品报废，洁净热处理是制程关键控制点。

2. 提升产品可靠性：避免污染物在高温下与材料发生反应或成为应力集中点，影响产品的长期性能与寿命。

3. 满足先决工艺条件：是无尘车间生产流程中环节，确保物料在流转过程中不受热处理环节的二次污染。

4. 降低综合成本：通过预防污染性报废，避免了因返工或批次报废导致的巨额经济损失。

四、 满足标准

• 洁净度标准：符合ISO 14644-1洁净室及相关受控环境国际标准。

• 行业特定标准：满足半导体设备与材料国际协会（SEMI）标准、以及医药GMP中对设备洁净度的相关指导要求。

• 材料安全标准：所用内胆及密封材料需通过出气测试，确保在高温下不释放挥发性有机物（VOCs）或其它污染物。

五、 产品特点

1. 全密封无尘结构：所有接缝采用连续焊接并抛光，门密封采用特殊无脱落型硅胶条，电缆、传感器穿口均采用洁净式密封。

2. 垂直层流洁净循环：采用顶部送风（经过HEPA过滤）、底部回风的垂直单向流设计，形成均匀的“洁净空气淋浴"，有效带走并过滤工艺中可能产生的微粒。

3. 专用洁净部件：使用无刷直流（BLDC）电机驱动风机，减少碳刷磨损产生的颗粒；加热器采用全密封式设计。

4. 易清洁设计：内胆圆角过渡，无螺丝、无凹凸，专用清洁工具可触及所有内部表面。

5. 智能化监控：可集成粒子计数器监测接口，实时或定期验证腔内洁净度。

六、 售后与服务
鉴于设备的专业性，服务方案着重于维护其洁净性能：

1. 洁净安装：提供在洁净环境或指导下进行开箱、定位与初始清洁的服务。

2. 性能认证：交付时可提供第三方或厂内的初始洁净度、温度均匀性认证报告。

3. 定期维护套餐：提供定期的HEPA/ULPA过滤器完整性测试、泄漏检测与更换服务，以及专业的腔内深度清洁服务。

4. 耗材与备件：保障原厂洁净级过滤器、密封件等专用耗材的长期供应。

5. 操作规范培训：重点培训用户关于在洁净室环境下正确装载/卸载、日常清洁及监控的标准化流程。

七、 注意事项

1. 环境匹配：设备应放置在相应的洁净室或受控环境中使用，以发挥效能。

2. 规范操作：操作人员需穿着洁净服，并使用无尘工具进行物料取放。开关门动作应轻缓，减少气流扰动。

3. 物料准入：放入腔内的物料必须经过预清洁，避免引入外部污染源。

4. 定期监测与维护：必须严格执行过滤器的更换周期和定期的洁净度验证，不可超期使用。清洁时应使用指定的无尘布和高纯度溶剂。