内置电池专用测试程序，操作便捷；防爆结构设计适配电池测试场景。内置电池专用测试程序，快速温变高低温测试箱半导体

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快速温变高低温测试箱半导体

半导体测试核心用途

快速温变高低温测试箱半导体

技术参数

采用超纯净超声波加湿，配备 0.1μm 级过滤器，加湿水质电阻率≥18MΩ・cm，避免离子污染半导体表面。加湿量 0.1~2kg/h 可调，低湿区采用电解除湿技术，可稳定维持 10% RH±1% RH，满足晶圆低湿存储测试需求。加湿模块与温控系统联动，避免温变时出现凝露，保护精密半导体器件。

隔热工作室构建封闭测试环境，加热系统（碳纤维加热管）与复叠式制冷系统协同运作，按预设温变曲线调节功率。加湿 / 除湿系统精准控湿，循环风机经 HEPA 过滤器带动气流形成层流（风速 02~0.5m/s），确保温湿度均匀。测试中实时监测半导体器件电参数，同步记录温湿度与性能关联数据。

15℃/min 温变速率下，箱内温度波动≤±0.3℃，连续 500 小时运行数据偏差≤0.5℃。支持 “温变 + 湿度" 复合测试，半导体测试中数据重复性误差≤1.5%。配备防静电内胆（表面电阻 10⁸~10¹⁰Ω），内置颗粒计数器接口，箱内≥0.5μm 颗粒浓度≤100 个 /ft³。