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广皓天与芯片企业合作,开发晶圆级快速温变测试箱可靠性验证系统

点击次数:28 更新时间:2025-09-19

近日,广东皓天检测仪器有限公司与深圳华芯半导体技术有限公司达成深度合作,共同开发晶圆级快速温变测试箱可靠性验证系统。此举正值半导体测试设备市场高速增长期,SEMI 数据显示 2025 年半导体测试设备销售额预计达 93 亿美元,同比增长 23.2%,其中环境可靠性测试设备需求增速。

广皓天与芯片企业合作,开发晶圆级快速温变测试箱可靠性验证系统


作为芯片可靠性验证的核心设备,快速温变测试箱需模拟芯片在温度波动下的工作环境。此次合作开发的系统专为 12 英寸晶圆设计,温度控制范围覆盖 - 40℃至 125℃,温变速率达 30℃/min,从 - 40℃升至 120℃仅需 21 分钟,满足 JEDEC JESD22-A104 标准及车规级芯片 AEC-Q100 认证要求。该系统集成了红外热像仪实时监控模块,可精准捕捉晶圆表面 5℃以上的温差变化,提前预警潜在失效风险。

技术方案上,该系统延续了广皓天在快速温变测试箱领域的材料创新经验,采用特种耐候钢箱体配合环氧树脂涂层的双重防护结构,同时新增晶圆真空吸附定位装置,实现 ±0.5μm 的测试定位精度。通过与华芯半导体的工艺协同,将芯片电性能测试模块与温变系统联动,可在温度循环过程中同步完成逻辑功能验证与静态参数测量,测试效率较传统设备提升 40%。




广皓天研发总监表示:"新系统使晶圆级快速温变测试的单次循环时间缩短至 90 分钟,支持 256 个测试工位并行作业,满足 7nm 以下制程芯片的可靠性验证需求。" 这一突破国内晶圆测试设备的技术空白,使测试数据与国际主流设备的一致性达到 98% 以上。
此次合作是产业链协同创新的又将快速温变测试箱的应用场景从器件级拓展至晶圆级,推动芯片可靠性测试环节的国产化替代。随着新能源汽车、自动驾驶等领域对车规级芯片需求的激增,该系统将为芯片量产提供关键的环境可靠性验证保障,助力国内半导体产业突破 "测试瓶颈"。